осаждение атомарных слоев

осаждение атомарных слоев

 

осаждение атомарных слоев
Осаждение атомарных слоев, метод осаждения, при котором осаждение каждого атомарного слоя материала управляется предварительно осажденным слоем исходного реагента; исходные реагенты и различные компоненты пленки вводятся попеременно; особенности метода – 100 %-ое покрытие за один этап и очень хорошая конформность; метод используется, например, при осаждении разных диэлектриков для создания МОП-затворов.
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]

Тематики

  • полупроводниковые приборы

EN

  • ALD
  • atomic layer deposition


Справочник технического переводчика. – Интент. 2009-2013.

Нужно сделать НИР?

Смотреть что такое "осаждение атомарных слоев" в других словарях:


Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»